Study of Vacuum-Assisted Spin Coating of Polymer Liner for High-Aspect-Ratio Through-Silicon-Via Applications
Yangyang Yan, Yingtao Ding*, Takafumi Fukushima, Kang Wook Lee, Mitsumasa Koyanagi
*此作品的通讯作者
科研成果: 期刊稿件 › 文章 › 同行评审
14
引用
（Scopus）