Thin Film PZT Multimode Resonant MEMS Temperature Sensor
Wen Sui*, Tahmid Kaisar*, Haoran Wang, Yihao Wu, Jaesung Lee, Huikai Xie, Philip X.L. Feng*
*此作品的通讯作者
科研成果: 书/报告/会议事项章节 › 会议稿件 › 同行评审
1
引用
（Scopus）