Vectorial pupil optimization to compensate polarization distortion in immersion lithography system

Tie Li, Yang Liu, Yiyu Sun, Xu Yan, Pengzhi Wei, Yanqiu Li*

*此作品的通讯作者

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10 引用 （Scopus）

指纹

探究 'Vectorial pupil optimization to compensate polarization distortion in immersion lithography system' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。

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