Optimization of resolution-enhancement technology and dual-layer bottom-antireflective coatings in hypernumerical aperture lithography

Yanqiu Li*, Yuan Zhou

*此作品的通讯作者

科研成果: 期刊稿件 › 文章 › 同行评审

4 引用 （Scopus）

指纹

探究 'Optimization of resolution-enhancement technology and dual-layer bottom-antireflective coatings in hypernumerical aperture lithography' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。

Engineering

Material Science