High-precision and high-efficiency fabrication of blazed grating by ultrasonic-assisted ultraprecision planing
Ziqi Chen, Qian Yu, Keita Shimada, Peng Liu, Yupeng He, Yao Hu, Xibin Wang, Tianfeng Zhou*, Masayoshi Mizutani
*此作品的通讯作者
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引用
（Scopus）