Design and fabrication of a high-density multilayer metal-insulator-metal capacitor based on selective etching

V. F.G. Tseng*, H. Xie

*此作品的通讯作者

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5 引用 （Scopus）

指纹

探究 'Design and fabrication of a high-density multilayer metal-insulator-metal capacitor based on selective etching' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。

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