Cu-plated through-wafer vias for AlGaN/GaN high electron mobility transistors on Si

K. H. Chen*, F. Ren, A. Pais, Huikai Xie, B. P. Gila, S. J. Pearton, J. W. Johnson, P. Rajagopal, J. C. Roberts, E. L. Piner, K. J. Linthicum

*此作品的通讯作者

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1 引用 （Scopus）

指纹

探究 'Cu-plated through-wafer vias for AlGaN/GaN high electron mobility transistors on Si' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。

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