A robust, fast electrothermal micromirror with symmetric bimorph actuators made of copper/tungsten

Xiaoyang Zhang, Boxiao Li, Xingde Li, Huikai Xie*

*此作品的通讯作者

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14 引用 （Scopus）

指纹

探究 'A robust, fast electrothermal micromirror with symmetric bimorph actuators made of copper/tungsten' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。

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