梳齿结构与振动梁复合的硅微谐振器的非线性分析

Chunyan Zhou, Bo Hu*

*此作品的通讯作者

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指纹

探究 '梳齿结构与振动梁复合的硅微谐振器的非线性分析' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。

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Engineering