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刘 克
光电学院
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2021
Design an Extreme Ultraviolet Illumination System with High Uniformity
Li, Y.
, Hao, Q.,
Liu, K.
& Yan, X.,
2021
,
在:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering.
11851
,
页码 114-116
3 页码
科研成果
:
期刊稿件
›
会议文章
›
同行评审
Combinatorial Optimisation
100%
2009
Design optimization of phase-shifting point diffraction interferometer
Liu, K.
&
Li, Y.
,
2009
,
在:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering.
7156
, 71561W.
科研成果
:
期刊稿件
›
会议文章
›
同行评审
Interferometry
100%
Optics
100%
Visible Spectrum
100%
Lithography
100%
Beam Propagation
100%
4
引用 (Scopus)
2008
Computer aided alignment of 20X Schwarzschild projection optics
Liu, K.
,
Li, Y.
, Liu, J. & Kuang, C.,
2008
,
在:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering.
7130
, 713042.
科研成果
:
期刊稿件
›
会议文章
›
同行评审
Optics
100%
10
引用 (Scopus)