Wafer-level test system using a physical stimulus for a MEMS accelerometer

Yaqiong Chen*, Zhenhai Zhang, Yantao Shen, Kejie Li

*此作品的通讯作者

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6 引用 (Scopus)

指纹

探究 'Wafer-level test system using a physical stimulus for a MEMS accelerometer' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。

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