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Trench-filled cellular parylene structure for piezoelectric polymer electret
Y. Feng
*
, K. Hagiwara, Y. Iguchi, Y. Suzuki
*
此作品的通讯作者
The University of Tokyo
Nippon Hoso Kyokai
科研成果
:
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同行评审
综述
指纹
指纹
探究 'Trench-filled cellular parylene structure for piezoelectric polymer electret' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。
分类
加权
按字母排序
Material Science
Cellular Structure
33%
Electret
100%
Microelectromechanical System
33%
Multilayer
33%
Piezoelectricity
100%
Engineering
Electromechanical Transducer
33%