Study of nano-PZT thick film for MEMS application

Hongmei Liu, Chengjun Qiu, Deqing Zhang, Huijun Zhang, Maosheng Cao*

*此作品的通讯作者

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指纹

探究 'Study of nano-PZT thick film for MEMS application' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。

Material Science

Pharmacology, Toxicology and Pharmaceutical Science