Structural and dielectric properties of ion beam deposited titanium oxynitride thin films

Liuwei Jia, Huiping Lu, Yujing Ran, Shujun Zhao, Haonan Liu, Yinglan Li, Zhaotan Jiang, Zhi Wang*

*此作品的通讯作者

科研成果: 期刊稿件文章同行评审

13 引用 (Scopus)

指纹

探究 'Structural and dielectric properties of ion beam deposited titanium oxynitride thin films' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。

Material Science