Rigorous imaging-based measurement method of polarization aberration in hyper-numerical aperture projection optics

ENZE LI, YANQIU LI*, YANG LIU, KE LIU, YIYU SUN, PENGZHI WEI

*此作品的通讯作者

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4 引用 （Scopus）

指纹

探究 'Rigorous imaging-based measurement method of polarization aberration in hyper-numerical aperture projection optics' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。

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