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Piezoelectric coefficient of InN thin films prepared by magnetron sputtering
C. B. Cao
*
, H. L.W. Chan, C. L. Choy
*
此作品的通讯作者
材料学院
Hong Kong Polytechnic University
科研成果
:
期刊稿件
›
文章
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同行评审
9
引用 (Scopus)
综述
指纹
指纹
探究 'Piezoelectric coefficient of InN thin films prepared by magnetron sputtering' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。
分类
加权
按字母排序
Material Science
Nitride Compound
100%
Indium
100%
Thin Films
100%
Piezoelectricity
100%
Magnetron Sputtering
100%
Film
40%
Interferometer
20%
Electrical Resistivity
20%
Permittivity
20%
Electrical Impedance
20%
Engineering
Thin Films
100%
Nitride
100%
Magnetron
100%
Piezoelectric Coefficient
100%
Relative Permittivity
20%
Gas Pressure
20%
Substrate Temperature
20%