跳到主要导航
跳到搜索
跳到主要内容
北京理工大学 首页
English
中文
0
更多
首页
师资队伍
研究单位
科研成果
奖项
按专业知识、名称或附属进行搜索
Option of resolution enhancement technology in advanced lithography
Li Yanqiu
*
, Zhou Yuan
*
此作品的通讯作者
光电学院
CAS - Institute of Electrical Engineering
University of Chinese Academy of Sciences
科研成果
:
书/报告/会议事项章节
›
会议稿件
›
同行评审
4
引用 (Scopus)
0
更多
综述
指纹
指纹
探究 'Option of resolution enhancement technology in advanced lithography' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。
分类
加权
按字母排序
Engineering
Lithography
100%
Numerical Aperture
66%
Phase Shift
66%
Nodes
33%
Process Window
33%
Polarization Effect
33%
Processing Technology
33%
Crosstalk
33%
Material Science
Lithography
100%