Nonlinear compressive inverse lithography aided by low-rank regularization

Xu Ma*, Zhiqiang Wang, Jianchen Zhu, Shengen Zhang, Gonzalo R. Arce, Shengjie Zhao

*此作品的通讯作者

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8 引用 （Scopus）

指纹

探究 'Nonlinear compressive inverse lithography aided by low-rank regularization' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。

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