跳到主要导航
跳到搜索
跳到主要内容
北京理工大学 首页
English
中文
0
更多
首页
师资队伍
研究单位
科研成果
奖项
按专业知识、名称或附属进行搜索
Multiple-field-point pupil wavefront optimization in computational lithography
Tie Li, Yang Liu, Yiyu Sun, Enze Li, Pengzhi Wei,
Yanqiu Li
*
*
此作品的通讯作者
光电学院
Beijing Institute of Technology
科研成果
:
期刊稿件
›
文章
›
同行评审
9
引用 (Scopus)
0
更多
综述
指纹
指纹
探究 'Multiple-field-point pupil wavefront optimization in computational lithography' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。
分类
加权
按字母排序
Engineering
Lithography
100%
Field Point
100%
Optimization Method
37%
Nodes
12%
Demonstrates
12%
Cost Function
12%
Process Window
12%
Manipulator
12%
Optimization Approach
12%