Modular design method of desktop micro-assembly system for non-silicon MEMS

Xiao Feng Zhang, Zhi Jing Zhang*, Xin Jin, Xin Ye, Zhi Peng Ye, Yan Li

*此作品的通讯作者

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2 引用 （Scopus）

指纹

探究 'Modular design method of desktop micro-assembly system for non-silicon MEMS' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。

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