Model-based angular scan error correction of an electrothermally-actuated mems mirror
Hao Zhang, Dacheng Xu*, Xiaoyang Zhang, Qiao Chen, Huikai Xie, Suiqiong Li
*此作品的通讯作者
科研成果: 期刊稿件 › 文章 › 同行评审
8
引用
（Scopus）