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Micro-patterning research of silicon-based ferroelectric PMNT thin films
Qingtao Zhang
*
,
Yanqiu Li
, Yonghong Shang
*
此作品的通讯作者
CAS - Institute of Electrical Engineering
科研成果
:
期刊稿件
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同行评审
综述
指纹
指纹
探究 'Micro-patterning research of silicon-based ferroelectric PMNT thin films' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。
分类
加权
按字母排序
Material Science
Silicon
100%
Thin Films
100%
Ferroelectric Material
100%
Ferroelectricity
40%
X-Ray Diffraction
20%
Solid Solution
20%
Sol-Gel
20%
Magnesium
20%
Titanate
20%
Crystal Lattice
20%
Ferroelectric Thin Films
20%
Wet Etching
20%
Niobate
20%