High-temperature thermal stability research on SiC thin films by magnetron sputtering

Yuankun Zhu, Jiaqi Zhu*, Jiecai Han, Jun Liang, Yuanchun Zhang

*此作品的通讯作者

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8 引用 （Scopus）

指纹

探究 'High-temperature thermal stability research on SiC thin films by magnetron sputtering' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。

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