Graded Multilayer Film Design for Anamorphic Magnification EUV Lithographic Objective

Shihuan Shen, Yanqiu Li*, Jiahua Jiang, Yan Liu, Ke Liu, Lihui Liu

*此作品的通讯作者

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2 引用 （Scopus）

指纹

探究 'Graded Multilayer Film Design for Anamorphic Magnification EUV Lithographic Objective' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。

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