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Finite element analysis of multi-layer MEMS ferroelectric microcoolers
Yonghong Shang
*
,
Yanqiu Li
, Qingtao Zhang, Shaobo Liu
*
此作品的通讯作者
CAS - Institute of Electrical Engineering
科研成果
:
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综述
指纹
指纹
探究 'Finite element analysis of multi-layer MEMS ferroelectric microcoolers' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。
分类
加权
按字母排序
Material Science
Microelectromechanical System
100%
Finite Element Method
100%
Multilayer
100%
Ferroelectric Material
100%
Physics
Microelectromechanical System
100%
Finite Element Method
100%
Ferroelectricity
100%
Temperature Distribution
50%
Mathematical Model
50%
Engineering
Simultaneous Mode
100%
Microcooler
100%
Chemical Engineering
Microelectromechanical System
100%
Temperature Distribution
50%