Fast pixel-based optical proximity correction based on nonparametric kernel regression

Xu Ma, Bingliang Wu, Zhiyang Song, Shangliang Jiang, Yanqiu Li*

*此作品的通讯作者

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17 引用 （Scopus）

指纹

探究 'Fast pixel-based optical proximity correction based on nonparametric kernel regression' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。

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