Fast nonlinear compressive sensing lithographic source and mask optimization method using Newton-IHTs algorithm

Yiyu Sun, Naiyuan Sheng, Tie Li, Yanqiu Li*, Enze Li, Pengzhi Wei

*此作品的通讯作者

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15 引用 （Scopus）

指纹

探究 'Fast nonlinear compressive sensing lithographic source and mask optimization method using Newton-IHTs algorithm' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。

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