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Fast mask near-field calculation using fully convolution network
Jiaxin Lin, Lisong Dong, Taian Fan,
Xu Ma
*
, Rui Chen, Yayi Wei
*
此作品的通讯作者
光电学院
CAS - Institute of Microelectronics
科研成果
:
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会议稿件
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同行评审
12
引用 (Scopus)
综述
指纹
指纹
探究 'Fast mask near-field calculation using fully convolution network' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。
分类
加权
按字母排序
Engineering
Field Data
50%
Lithography
100%
Mask Pattern
50%
Simulation Method
50%
Simulators
50%
Tasks
50%
Mathematics
Convolution
100%
Electro-Magnetic Field
40%
Field Data
20%
Near-Field
100%
Material Science
Lithography
100%