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Fabrication of a sidewall reflective optical switch by using FIB etching
Zhen He, Jun Cao,
Jun Dai
*
*
此作品的通讯作者
机电学院
Beijing Institute of Technology
科研成果
:
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同行评审
综述
指纹
指纹
探究 'Fabrication of a sidewall reflective optical switch by using FIB etching' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。
分类
加权
按字母排序
Engineering
Side Wall
100%
Optical Switch
100%
Focused Ion Beam
100%
Microelectromechanical System
40%
Output Power
10%
Structural Design
10%
Electromechanical System
10%
System Technology
10%
Optical Engineering
10%
Material Science
Microelectromechanical System
100%
Focused Ion Beam
100%
Silicon
25%
Surface Roughness
25%
Mechanical Testing
25%
Physics
Microelectromechanical System
100%
Ion Beams
100%
Surface Roughness
25%
Chemical Engineering
Microelectromechanical System
100%