Etching mechanism of high-aspect-ratio array structure
Gao Zhiting*, Ma Zhuang, Gao Lihong, Liu Qiang, Wang Yuxiang, Liu Yanbo, Wang Lidong, Hao Yuyang, Deng Yuanhan
*此作品的通讯作者
科研成果: 期刊稿件 › 文章 › 同行评审
3
引用
（Scopus）