Discharge and Deposition Characteristics of High-Power Impulse Magnetron Sputtering Using Various Target Materials
Bocong Zheng, Zhongzhen Wu*, Suihan Cui, Shu Xiao, Liangliang Liu, Hai Lin, Ricky K.Y. Fu, Xiubo Tian, Feng Pan, Paul K. Chu
*此作品的通讯作者
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引用
（Scopus）