Design of a hyper-numerical-aperture deep ultraviolet lithography objective with freeform surfaces

Shanshan Mao, Yanqiu Li*, Jiahua Jiang, Shihuan Shen, Ke Liu, Meng Zheng

*此作品的通讯作者

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12 引用 （Scopus）

指纹

探究 'Design of a hyper-numerical-aperture deep ultraviolet lithography objective with freeform surfaces' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。

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