Analysis of effect of MEMS fabrication error on the microspring mechanical property

Hua Li*, Geng Chen Shi, Guang He

*此作品的通讯作者

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5 引用 （Scopus）

指纹

探究 'Analysis of effect of MEMS fabrication error on the microspring mechanical property' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。

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