An optical MEMS acoustic sensor based on grating interferometer

Mengying Zhang, Gaomi Wu, Dipeng Ren, Ran Gao, Zhi Mei Qi*, Xingdong Liang

*此作品的通讯作者

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20 引用 （Scopus）

指纹

探究 'An optical MEMS acoustic sensor based on grating interferometer' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。

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