An auto-aligned vertical comb drive for low-cost variable optical attenuators

J. Cheng*, W. Liu, Q. Chen, N. Xu, Q. Sun, Y. Liu, W. Wang, H. Xie

*此作品的通讯作者

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2 引用 （Scopus）

指纹

探究 'An auto-aligned vertical comb drive for low-cost variable optical attenuators' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。

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