A silicon based Fourier transform spectrometer base on an open-loop controlled electrothermal MEMS mirror

W. Wang*, J. Chen, A. S. Zivkovic, C. Duan, H. Xie

*此作品的通讯作者

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11 引用 （Scopus）

指纹

探究 'A silicon based Fourier transform spectrometer base on an open-loop controlled electrothermal MEMS mirror' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。

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