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A macro–micro compensation method for straightness motion error and positioning error of an improved linear stage
Yongjun Deng,
Xin Jin
*
, Zhijing Zhang
*
此作品的通讯作者
机械与车辆学院
Beijing Institute of Technology
科研成果
:
期刊稿件
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文章
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同行评审
19
引用 (Scopus)
综述
指纹
指纹
探究 'A macro–micro compensation method for straightness motion error and positioning error of an improved linear stage' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。
分类
加权
按字母排序
Engineering
Error Source
25%
Joints (Structural Components)
25%
Linear Stage
100%
Motion Compensation
25%
Parallelism
25%
Piezoelectric Actuator
25%
Rigid Plate
25%
Straightness
100%