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A CMOS-MEMS lateral-axis gyroscope
H. Xie
*
, G. K. Fedder
*
此作品的通讯作者
Carnegie Mellon University
科研成果
:
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论文
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同行评审
46
引用 (Scopus)
综述
指纹
指纹
探究 'A CMOS-MEMS lateral-axis gyroscope' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。
分类
加权
按字母排序
Engineering
Actuation
100%
Atmospheric Pressure
50%
Capacitive
50%
Drive Mode
100%
Experimental Result
50%
Interface Circuit
50%
Microelectromechanical System
100%
Polysilicon
50%
Resonant Frequency
100%
Sense Mode
50%
Single Chip
50%