A bi-directional large-stroke electrothermal MEMS mirror with minimal thermal and temporal drift

W. Wang, Q. Chen, D. Wang, L. Zhou, H. Xie*

*此作品的通讯作者

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7 引用 （Scopus）

指纹

探究 'A bi-directional large-stroke electrothermal MEMS mirror with minimal thermal and temporal drift' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。

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