A 2-axis electrothermal MEMS micro-scanner with torsional beam
Quentin A.A. Tanguy, Can Duan, Wei Wang, Huikai Xie, Sylwester Bargiel, Przemyslaw Struk, Philippe Lutz, Christophe Gorecki
科研成果: 书/报告/会议事项章节 › 会议稿件 › 同行评审
3
引用
（Scopus）