高数值孔径自由曲面极紫外光刻物镜光学设计

Shanshan Mao, Yanqiu Li, Ke Liu, Lihui Liu, Meng Zheng, Xu Yan

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15 引用 （Scopus）

指纹

探究 '高数值孔径自由曲面极紫外光刻物镜光学设计' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。

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