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集成电路与电子学院
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1995 …
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Engineering
Microelectromechanical System
100%
Micromirrors
66%
Actuation
18%
Piezoelectric
14%
Resonant Frequency
11%
Fourier Transform
10%
Transducer
9%
Voltage Driving
9%
Silicon Single Crystal
8%
Optical Source
7%
Electrostatics
7%
Micro Machining
7%
Micro-Electro-Mechanical System
6%
Experimental Result
6%
Thin Films
6%
Fill Factor
6%
Ultrasonics
5%
Amplifier
5%
Two Dimensional
5%
Material Science
Microelectromechanical System
40%
Optical Coherence Tomography
15%
Actuator
10%
Silicon
9%
Piezoelectricity
7%
Accelerometer
6%
