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Study on stiffness characterization of planar W-form micro-springs based on MEMS technology
Guang He
*
, Geng Chen Shi
*
此作品的通讯作者
机电学院
Beijing Institute of Technology
科研成果
:
期刊稿件
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文章
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同行评审
7
引用 (Scopus)
综述
指纹
指纹
探究 'Study on stiffness characterization of planar W-form micro-springs based on MEMS technology' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。
分类
加权
按字母排序
Engineering
Design Optimization
33%
Energy Method
33%
Finite Element Method
33%
Material Constant
33%
Microelectromechanical System
100%
Simulation Result
33%
Structural Parameter
66%
Tensile Test
33%