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Simulations and Experiments on the Fabrication of Silicon Tip
Mingliang Wang, Daoheng Sun
*
,
Yanhua Wang
*
此作品的通讯作者
Xiamen University
科研成果
:
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同行评审
综述
指纹
指纹
探究 'Simulations and Experiments on the Fabrication of Silicon Tip' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。
分类
加权
按字母排序
Material Science
Silicon
100%
Wet Etching
100%
Dry Etching
42%
Engineering
Anisotropic
100%
Dry Etching
30%
Controllability
10%
Simulation Result
10%
Fits and Tolerances
10%
Fabrication Technique
10%
Earth and Planetary Sciences
Controllability
100%