Effect of potassium ions on tantalum chemical mechanical polishing in H2O2-based alkaline slurries

Liang Jiang, Yongyong He, He Liang, Yuzhuo Li, Jianbin Luo

科研成果: 期刊稿件 › 文章 › 同行评审

8 引用 （Scopus）

指纹

探究 'Effect of potassium ions on tantalum chemical mechanical polishing in H2O2-based alkaline slurries' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。

Material Science

Chemical Engineering