A single-crystal silicon 3-axis CMOS-MEMS accelerometer

Hongwei Qu*, Deyou Fang, Huikai Xie

*此作品的通讯作者

科研成果: 会议稿件论文同行评审

41 引用 (Scopus)

指纹

探究 'A single-crystal silicon 3-axis CMOS-MEMS accelerometer' 的科研主题。它们共同构成独一无二的指纹。

Engineering